盘点国内砷化镓龙头企业海威华芯的崛起之路

随着宽禁半导体材料的发展，砷化镓作为一种新型的半导体材料备受关注。由于其电子迁移率比硅大5～6倍，故在制作微波器件和高速数字电路方面得到重要应用，用砷化镓制成的半导体器件具有高频、高温、低温性能好、噪声小、抗辐射能力强等优点。砷化镓是直接能隙的材料，所以可以用来发光，而Si是间接能隙的材料，只能发射非常微弱的光。砷化镓于1964年进入实用阶段，它可以制成电阻率比硅、锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料,用来制作集成电路衬底、红外探测器、γ光子探测器等。

砷化镓虽然具有很好的半导体属性，但是一直在产业化道路上走的艰难。有人说，砷化镓之所以没有被大规模使用是因为其毒性，因为砷就是一种剧毒，一旦被身体吸收少量，就有危险。当然这只是其中一个原因。还有一个重要原因，是砷化镓制作成本高，大规模商用很难。尽管如此，人们仍不放弃对它的研究，2010年，美国研究人员研发出一种可批量生产砷化镓晶片的技术，克服了成本上的瓶颈，使砷化镓这种感光性能比硅更优良的材料有望大规模用于半导体和太阳能相关产业。据相关人员介绍，这种新技术可以生成由砷化镓和砷化铝交叠的多层晶体，然后利用化学物质使砷化镓层分离出来，可同时生成多层砷化镓晶片，大大降低了成本。不过，该技术目前还只能用于批量生产较小的砷化镓晶片，如边长500微米的太阳能电池单元。

国内砷化镓龙头企业海威华芯是如何起来的？

我国的砷化镓产业起步较晚，但是需求很大，这是由于通讯产业的发展。砷化镓可用于高频及无线通讯，适于制做IC器件。所制出的这种高频、高速、防辐射的高温器件，应用于激光器、无线通信、光纤通信、移动通信、GPS全球导航等领域。砷化镓除在IC产品应用以外，也可加入其它元素改变能带隙及其产生光电反应，达到所对应的光波波长，制作成光电元件。近年来，我国砷化镓产量总体而言呈现出较快增长的态势，强大的无线通信需求使砷化镓产量和销售不断增长。随着光电通信等行业的发展，砷化镓的市场需求在不断增长，国内逐渐诞生了一批有影响力的企业，如海威华芯就是其中的代表。

海威华芯作为国内颇具影响力的砷化镓企业，是一家有着技术和梦想的企业。成都海威华芯科技有限公司成立于2010年，是国内首家提供六英吋砷化镓/氮化镓微波集成电路（GaAs/GaNMMIC）的纯晶圆代工（Foundry）服务公司，其“六英吋GaAs/GaN集成电路Foundry线”填补了国内空白，达到国际先进水平。公司位于成都市双流区县物联网产业园区内，占地225亩，建筑面积14万平方米。包括：核心芯片制造厂房、中央动力厂房、办公大楼、技术合作交流中心等。

海威华芯拥有国际一流的半导体工艺设备，包括：步进式光刻机、离子注入机、金属溅射台、金属蒸发台、湿法蚀刻台等，设备稳定性高，性能优越，并且实现自动化制造，可为客户提供稳定、高效、优质的服务。据悉，海威华芯拥有完整的技术团队、先进的GaAs集成电路制造技术和生产设备，其“六英吋GaAs集成电路Foundry线”是国家支持的重点产业化项目，在国际国内具有重要的战略意义。在制程技术发展方面，海威华芯以多元化及领先为原则，力争为客户提供完整的Foundry服务。在通讯领域海威华芯科技更专注于提供GaAspHEMT集成电路制程技术。

海威华芯取得的成绩

2016年，海威华芯与电子科大战略合作签约，成都海威华芯科技有限公司与电子科技大学示范性微电子学院的战略合作签约。电子科技大学示范性微电子学院是国家教育部、发改委、科技部等6部门联合下文，批复建设的首批国家示范性微电子学院，在微电子学科与集成电路技术领域享有很高的声誉。而海威华芯建设的大陆首条6寸商用化合物半导体生产线，对国家核心关键技术自主可控有着重大的战略意义。

2017年，海威华芯获得国家集成电路生产企业认定，国家发展改革委、工业和信息化部、财政部、海关总署认定公布了全国63家线宽小于0.25微米或投资额超过80亿元、线宽小于0.5微米（含）的集成电路生产企业名单，其中新增企业认定14家，海威华芯成功入围。

2017年，海威华芯加入中移动5G联合创新中心，海威华芯加入创新中心后，在中移动的带领下将联合上下游产业链共同推动5G高频全产业链成熟和发展，抢占5G时代制高点的同时开展业务应用和产品研发与创新，实现合作共赢，从而共同拓展5G新市场、挖掘新应用，迎接5G带来的商业机遇。

2018年，成都海威华芯科技有限公司新增射线装置应用项目环境保护竣工验收，根据建设项目竣工验收管理有关规定，我公司对新增射线装置应用项目开展环境保护竣工验收。

2018年海威华芯的项目产线继续加大投入，针对二代化合物芯片的晶圆代工服务，产品面向5G、雷达、新能源等市场，目前处于工艺完善和良率提升试生产阶段。

由于砷化镓产业的技术难度高，能跨入这个领域企业不多，但是行业的需求很大，这是中国的机会，也是海威华芯的机遇。但是，目前整个制造过程面临着成本和良率的双重挑战，未来留给他的路还很长。