​滨松光子量产中红外化合物半导体探测器，可用于物质成分分析

滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics）近日宣布批量生产了一种不使用欧盟委员会RoHS限制物质的中红外化合物半导体探测器。这款化合物光电半导体由2000多层砷化铟（InAs）和锑化镓（GaSb）薄膜层在基板上交替层叠构成。

左图为普通化合物半导体器件，右图为Hamamatsu率先量产的中红外化合物半导体探测器。普通半导体器件的光接收层采用的是单一材料，而Hamamatsu的该产品采用的是2000层以上厚度为数纳米的InAs和GaSb薄膜在基板上交替层叠形成的光接收层。

该探测器能够感知波长为14.3 um的中红外光，且不使用中红外探测器常用的汞和镉材料。这些材料现在已是欧盟RoHS指令下的限制有害物。

Hamamatsu称，这款新产品非常适用于傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）分光光度计等分析仪器，这些仪器依赖中红外光来识别空气、食品和药物中所含的物质。这款新产品还可以取代常用于气体组分分析仪和红外测温仪的现有中红外探测器。

探测可见光主要采用的是由硅（Si）材料制成的光学半导体器件，但要检测波长比可见光长的中红外光，则需要使用组合多种材料的化合物半导体器件。然而，这些化合物光电半导体结构的大规模批量生产难度很大。

Hamamatsu声称它们是第一家批量生产这种II型超晶格红外探测器的公司。其制造技术能够精确交替层叠具有均匀厚度、反复重复的InAs和GaSb薄膜。

日本滨松光子学株式会社（简称滨松集团）是全球光子技术、光产业的领导者。自1953年成立以来，滨松集团将超过15000种光电产品销往全球100多个国家和地区，这些产品被广泛应用在生物医疗、高能物理、宇宙探测、精密分析、工业计测、民用消费等领域。多种产品以其优异质量著称并享有高市场占有率，如光电倍增管系列产品的市场占有率高达90%。目前，滨松集团在日本、中国、中国台湾、美国、德国、俄罗斯、意大利、南非、荷兰、瑞士、丹麦、波兰等国家和地区成立了分公司或事务所。

滨松集团于2011年10月成立了滨松光子学商贸（中国）有限公司（简称滨松中国），作为滨松集团在中国的销售、技术支持、售后服务等市场与商务活动中心，全面负责滨松集团在中国所有产品的销售业务。为了更好地服务好中国客户，满足中国不断发展壮大的市场需求，滨松中国分别在2012年1月和2017年10月成立滨松中国上海分公司和滨松中国深圳分公司，在全面助力中国光子科学和技术发展的同时也为祖国的蓬勃发展贡献滨松中国的一份力量。

滨松集团的中国业务最早可以追溯到1988 年，由滨松集团与北京核仪器厂共同投资兴建了北京滨松光子技术有限公司（简称北京滨松），现为国内光电倍增管、探测器、晶体、电子玻璃等产品的生产基地。