福赛特研发的国内首款LED半导体晶圆倒片机量产，月底交付三安光电

9月5日消息，在显著提升晶圆良率的同时，生产效率也稳步提高，由上海福赛特智能设备有限公司独立研发的国内首款LED半导体晶圆倒片机今年量产，长三角G60科创走廊研发成果填补了行业空白。

图为技术人员在调试工业滤芯智能制造设备

昨天下午，记者走进上海福赛特智能设备有限公司生产车间，看见数十台LED半导体晶圆倒片机一字排开，技术人员正在对月底即将交付客户的设备进行最后的调试。这批设备具有独立的洁净空间，“实现了无人化操作，可最大程度提高产品品质和良率，同时保证了产品信息可跟踪可回溯。”该公司智能设备事业部副总经理刘纯君介绍说，这批设备是交付给三安集团的，三安集团作为国内LED晶圆制造业的龙头企业，对产品品质要求很高。

相关技术人员告诉记者，该生产线实现了RO滤芯卷膜、固化、切边、装配包装过程的全自动化，能够兼容规格为1810-50G——3013-600G的滤芯产品，轻松完成1——8页膜滤芯的全自动卷制生产，具备全自动、智能化、高效率、高可靠性与高稳定性的技术特点。生产线配置了两台6轴工业机器人，集成生产过程控制系统、生产信息化可视追溯系统和智能配单管理系统，实现滤芯产品生产的一键换型、一键清料、过程监测、质量检测、质量正态分布图显示等智能化功能。据介绍，该生产线的技术参数全面超越国外同类设备，打破了国外巨头的垄断。

上海福赛特智能设备有限公司为何将RO滤芯生产线作为其主攻方向呢？“如今，消费者越来越关注饮水安全，高品质的家用净水设备普及率逐年提高，RO滤芯市场需求潜力巨大，但国内全自动RO滤芯生产线长期依赖进口，有的厂家甚至全靠手工生产。”该公司总经理张丹说，利用全自动生产设备生产滤芯，可以最大程度避免人工操作可能引入的污染，保证产出滤芯质量的稳定。

据悉，国内外一些高度重视滤芯生产过程安全卫生的企业，如联合利华旗下的净水企业、上海唯赛勃环保科技有限公司旗下的滤芯制造公司等，已率先与福赛特签订了全自动RO滤芯生产线的采购合同。目前，福赛特已向多家客户交付了设备。

除了民用净水市场外，福赛特还积极开拓工业净水市场。市政污废水处理、工厂纯水生产、海水淡化等都离不开滤芯，在工业领域，滤芯的应用日益广泛，需求量快速增长。福赛特历时一年研发的工业滤芯智能制造设备FST-ME2000，是为工业滤芯制造企业提供的标准化、宽兼容范围的全线自动化生产解决方案，用于工业RO滤芯卷制和生产。这套设备也是国内首款全自动工业滤芯生产线，一经问世，就引起了国内外水处理行业巨头的关注，第一套设备将于今年下半年交付使用。

刘纯君告诉记者，此设备用在LED半导体外延工艺段，可实现晶圆从原料仓至PVD（物理气相沉积）工序之间以及PVD工序到MOCVD（金属有机物化学气相沉积）工序之间的周转。在福赛特推出此设备之前，这种周转主要通过人工操作完成。人工操作引入的污染会对产品品质产生很大影响，因为人为失误造成的产品或载具损伤浪费不小。而且，人工操作和周转中断了设备信息流和数据流，不利于产品信息追踪及回溯。福赛特LED半导体晶圆倒片机的推出，解决了行业痛点。据介绍，该设备采用行业领先的洁净机器人、先进的激光传感器和CCD，以及自主研发的载盘寻边器等，配合自主研发的成熟先进的信息化系统，可自动与企业生产的“中枢神经”MES系统实现数据交互，形成“周围神经系统”，连接各个工艺段中的独立设备系统，即“神经末梢”，组成闭环的智能信息化系统。同时，可实现晶圆自动上下片、晶圆寻边、晶圆Wafer ID自动读取和校对、生产工单的解批和并批等。

“在集成电路半导体行业，晶圆倒片设备多数嵌入核心设备内部，并由国外几家大公司垄断，其设备价格高昂，生产效率低下，无法满足LED半导体行业的体量需求，所以LED半导体行业一直没有合适的晶圆倒片解决方案。我们通过LED全制程分析，从LED外延段入手，目前第一款设备LED半导体晶圆倒片机已经量产，PSS工艺段的第二款产品PSS自动上片机已经研制成功，目前我们正与国内LED主设备龙头企业洽谈，拟合作研发嵌入式晶圆倒片模块，支持新一代国产MOCVD和PVD设备的研制。”上海福赛特智能设备有限公司总经理张丹说。

“全自动滤芯智能制造系统中包含的机电设计、控制软件、智能算法等几十项知识产权，都是由我们公司独立自主研发的，这两套设备的成功研制实现了我国在水处理行业高端设备领域的重大突破，打破了国外巨头在滤芯智能制造领域的长期垄断。”张丹说。

    关于上海福赛特智能科技有限公司  

公司成立于2015年，是一家专注于以机器人应用为核心的智能设备研发和面向非工业领域提供整体智能系统解决方案的高新技术企业，主要为环保行业、半导体行业等提供智能化、模块化、柔性化的高端智能设备，产品包括LED半导体晶圆倒片机、工业膜元件智能制造设备、智能发卡与智能收费系统、等众多智能设备产品。福赛特公司此次将在松江区投资建设福赛特智能工业生产线项目，依托G60科创走廊先进制造业基础，进一步打造基于工业互联网的智能制造整体解决方案提供平台。